电子级的双氧水
电子级的双氧水即电子级过氧化氢是大规模集成电路生产工艺中所必需的电子化工原料。采用工业双氧水产品为原料，经三塔连续树脂吸附工艺生产电子级过氧化氢。该工艺流程简单、操作容易、生产条件温和、无污染、成本低，产品纯度可达到半导体设备与材料国际制订标准SEMIC19-90标准和SEMIC75-93标准的电子级双氧水产品，达到国内领先水平和国际同类先进技术水平。该树脂不是一般普通的交换树脂，必须具有抗氧化性，另外通过负压精馏也可以生产出电子级的双氧水，但后者成本较高，能耗较高。