在电子行业领域，双氧水用作硅晶片和集成电路元件等的清洗剂，以制成优质的绝缘层。随着集成电路的高集成化，要求产品中金属杂质的质量分数分别达到ppm和ppb甚至ppt数量级。国外对高纯双氧水的需求量很大，我国近几年电子工业的迅速发展，对高纯双氧水的需求量增加很快，国内的半导体芯片生产企业所需的双氧水大部分从国外进口，至于金属杂质含量为ppt级的双氧水产品，仅上海哈勃公司有所报道。
双氧水在电子行业领域的应用
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双氧水在电子行业领域的应用
时间：2014-01-11 点击次数：100