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双氧水在电子行业领域的应用

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双氧水在电子行业领域的应用

时间:2014-01-11 点击次数:100

在电子行业领域,双氧水用作硅晶片和集成电路元件等的清洗剂,以制成优质的绝缘层。随着集成电路的高集成化,要求产品中金属杂质的质量分数分别达到ppm和ppb甚至ppt数量级。国外对高纯双氧水的需求量很大,我国近几年电子工业的迅速发展,对高纯双氧水的需求量增加很快,国内的半导体芯片生产企业所需的双氧水大部分从国外进口,至于金属杂质含量为ppt级的双氧水产品,仅上海哈勃公司有所报道。



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